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產品介紹:

    合能陽光硅芯電阻率測試儀(HS-SFRT)，是一款高端測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器，可測量硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等，由于儀器大大消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度大大提高，量程實現了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米（可擴展）的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，是西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業、物理提純生產多晶硅料生產企業、光伏及 半導體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測試電阻率測試的企業的最佳幫手。



產品特點：

■ 適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅

■ 適用于西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業

■ 適用于物理提純生產多晶硅料生產企業

■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業

■ 適用于科研部門、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業

■ 儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響，因此測試精度大大提高

■ 測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能

■ 獨特的設計能有效消除測量引線和接觸電阻產生的誤差，   實現了測量的高精度和極寬的量程范圍 

■ 雙數字表結構使測量更精確，操作更簡便

■ 具有強大的測試數據查詢及打印功能

■ 測量系統可實現自動換向測量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等

■ 四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性大大提高

■ 采用進口元器件，留有更大的安全系數，大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命

■ 測量電流采用高度穩定的特制恒流源（萬分之五精度），不受氣候條件的影響

■ 具有正測反測的功能，保證測試結果的準確性

■ 具有抗強磁場和抗高頻設備的性能



推薦工作條件：

■ 溫度：23±2℃

■ 濕度：≤65%

■ 無較強的電場干擾，電源隔離濾波，無強光直接照射



技術指標：

■ 可測電阻率范圍： 5 × 10-5 — 5 × 1 0+5 Ω· cm （可擴展）

■ 測量精度＜3%

■ AC 220V ± 10% 50/60 Hz 功率： 12W



典型用戶：

北京，浙江，四川，河北，河南等地的硅料生產企業及半導體光伏拉晶客戶